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大型氣相沉積爐

大型氣相沉積爐

主要技術(shù)參數(shù):

  1. 高溫度:2000℃

  2. 使用空間:1500*2000

  3. 極限真空度:10-1Pa

  4. 加熱區(qū):四區(qū)加熱


上一頁:400 噸熱壓爐開發(fā)成功
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