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氣相沉積（CVD）爐 先進(jìn)陶瓷

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產(chǎn)品詳情

一、設(shè)備用途：

用做石墨或碳碳表面的碳化硅涂層、碳碳復(fù)合涂層。

用途廣泛如：

1 碳碳復(fù)合涂層：光伏晶體爐的熱場(chǎng)材料

2 石墨涂層：LED藍(lán)寶石襯底MOCVD的石墨托盤

二、設(shè)備特點(diǎn)：

1 立式結(jié)構(gòu)，爐殼用耐腐蝕材料制成。

2 獨(dú)特的內(nèi)罩進(jìn)排氣結(jié)構(gòu)，熱場(chǎng)溫度均勻性好。

3 氣氛控制精確，真空系統(tǒng)配有過濾器，可選配尾氣處理系統(tǒng)。

4 主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩(wěn)定、可靠。

5 配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。

三、主要技術(shù)參數(shù)：

爐膛尺寸可按要求定做

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