氣相滲透爐
先進陶瓷
氣相滲透爐
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一、設備用途:
氣相滲透爐主要用于CVD和CVI工藝制備C/C、C/SIC及SIC/SIC復合材料,力學性能優(yōu)異,
適用于航空航天級別碳基及SIC基復合材料,該設備可用于縱項目SIC包殼管的研制。
C/C復合材料,C/SIC陶瓷基復合材料,熱解碳涂層,SIC涂層,以及SIC/SIC復合材料制備。
二、設備特點:
1 立式結(jié)構,雙層水冷結(jié)構設計,爐殼用耐腐蝕材料制成。
2 獨特的內(nèi)罩進排氣結(jié)構,熱場溫度均勻性好。
3 氣氛控制精確,真空系統(tǒng)配有過濾器,可選配尾氣處理系統(tǒng)。
4 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制方式,操作方便,簡單。
5 主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌,性能穩(wěn)定、可靠。
三、主要技術參數(shù):
No. | 型號 | 工作區(qū)尺寸 | 高溫度 | 真空度 | 壓升率 | 溫度均勻性 | 功率 |
1 | ZT-60-13 | ?300X600mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 48KW |
2 | ZT-145-13 | ?500X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 135KW |
3 | ZT-160-13 | ?600X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 160KW |
4 | ZT-240-13 | ?800X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 240 |